자동화 장비 전문기업 팸텍은 산업용 로봇 전문기업 티아이에스(TIS)의 지분 100%를 인수하고 반도체 공정 자동화 장비 사업을 본격 확대한다고 1일 밝혔다.

이번 인수로 팸텍은 티아이에스가 축적해 온 산업용 로봇, 특히 반도체 제조 및 후공정에 필수적인 ‘웨이퍼 트랜스퍼 로봇(Wafer Transfer Robot)’ 기반 기술과 전문 인력을 단숨에 추가로 확보하게 됐다. 

팸텍은 단순 지분 인수를 넘어 해당 기술을 내재화해 EFEM, Sorter 등 기존의 반도체 물류 자동화 장비 사업을 고도화하고 속도감 있게 확장할 계획이다.

최근 반도체 산업은 AI와 HPC(고성능 컴퓨팅) 수요 급증으로 미세공정의 한계를 극복하기 위한 칩렛, HBM, 2.5D·3D 등 첨단 패키징 기술이 핵심 경쟁력으로 부각되고 있다. 

특히 대면적·고집적 패키징에 유리한 ‘유리기판’이 차세대 소재로 각광받으며, 새로운 폼팩터에 대응할 수 있는 정밀 자동화 장비 수요도 급증할 전망이다.

유리기판 공정은 기존 웨이퍼 대비 기판의 크기와 두께가 다양하고 취급 조건이 까다로워 고도화된 이송·정렬·핸들링 기술이 필수적이다. 

팸텍은 자사의 탁월한 하드웨어 설계·제조 역량 및 자동화 장비 양산 노하우에 티아이에스(TIS)의 정밀 로봇 핸들링 기술을 결합해, 개화하고 있는 유리기판 관련 자동화 장비 시장을 선제적으로 공략한다는 방침이다.

회사 관계자는 “이번 인수는 당사가 지속적으로 추진해 온 반도체 공정 장비 사업 강화 전략에 박차를 가하는 핵심 모멘텀”이라며, “티아이에스의 기술 내재화를 통해 차세대 패키징 및 유리기판 자동화 장비 시장을 선도하고, 회사의 외형 성장과 수익성 극대화를 동시에 이뤄내겠다”고 강조했다.