코셈이 독자적인 이온식각 기술력을 바탕으로 반도체 장비 핵심 부품 국산화에 성공하며 연구용 장비를 넘어 산업용 모듈 시장으로 사업 영역을 확대했다.

주사전자현미경(SEM) 기반 융복합 산업장비 전문기업 코셈은 AP시스템에 이온빔 모듈 3대를 납품했다고 23일 밝혔다.

코셈은 지난해 AP시스템과 이온빔 모듈 연구개발 위탁계약을 체결한 뒤 독자적인 이온식각 기술을 적용한 모듈 개발에 성공했으며, 올해 1월 제품 공급을 완료했다.

이번 공급은 코셈이 고부가가치 산업용 핵심 부품·모듈 시장에 진입했다는 의미를 갖는다. 연구용 장비 시장에서 쌓은 기술력을 실제 산업 현장의 양산 공정 장비에 적용 가능한 수준으로 끌어올린 결과다.

이온빔 모듈은 향후 AP시스템의 차세대 반도체 공정 장비 내 핵심 부품으로 탑재돼 공정 정밀도를 높이는 역할을 수행할 예정이다.

코셈 관계자는 "이번 이온빔 모듈 공급은 당사의 기술이 실제 산업 현장의 엄격한 기준을 충족했음을 입증하는 이정표"라며 "외산 의존도가 높았던 반도체 핵심 부품의 국산화를 실현했다는 점에서 기술적·경제적 가치가 크다"고 말했다.

코셈은 이번 성과를 바탕으로 시장 점유율을 적극적으로 높여 나갈 계획이다. 올해부터는 대기압 전자현미경 기술을 활용해 반도체와 이차전지, 바이오 분야까지 적용 범위를 확대한다는 방침이다.